- 레이저 광원의 간섭효과를 이용하여 넓은 영역에 3D 마이크로 구조
물을 패터닝 함
- 액체상태의 photoresist를 레이저를 이용하여 고형화시키는 원리
1. Femtosecond fiber laser pulse length (120 fs Average
Power) 120mW
2. 출력크기 10 x 10 x 10mm 이내
3. x-y해상도: <0.5μm, z해상도: <1μm
마이크로 사이즈의 부품이 필요한 전 분야
- 미세광학
- Maskless lithography
- 바이오칩
- Rapid prototyping 등
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